Sammelbegriff für alle Plasmaprozesse, die in der technischen Oberflächentechnik angewendet werden. Dazu zählen u.a. die Plasmareinigung, die Plasmaaktivierung sowie das Plasmaätzen und Plasmabeschichten. Plasmaverfahren haben sich in den letzten Jahrzehnten zu einem flexiblen Bearbeitungswerkzeug für industrielle Anwendungen entwickelt. Die verfahrenstechnische Grundlage basiert auf dem physikalischen Prinzip, dass sich durch Zufuhr von Energie die Aggregatzustände von Stoffen ändern. Festes wird flüssig und Flüssiges wird gasförmig. Reichert man Gas mit weiterer Energie an, wird es ionisiert und wechselt in den energiereichen Plasmazustand. Über 99 Prozent der sichtbaren Materie im Universum sind in diesem Zustand. In seiner natürlichen Form kommt Plasma beispielweise in Gewitterblitzen oder als (ant)arktisches Polarlicht vor. Während einer Sonnenfinsternis ist es als Lichtkreis (Korona) um die Sonne sichtbar. Technisch erzeugt werden kann Plasma durch das Anlegen elektrischer Felder. In Plasmen werden hochangeregte Teilchen und Radikale generiert, die chemische Reaktionen auslösen können, die unter Normalbedingungen nicht erreichbar sind. Die Temperatur der Werkstücke kann dabei niedrig gehalten werden.